1、超声波频率：超声波频率越低，在液体中产生空化越容易，作用也越强。频率高则超声波方向性强，适合于精细物体的清洗。
2、功率密度：超声波的功率密度越高，空化效应越强，速度越快，清洗效果越好。但对于精密的、表面光洁度甚高的工件，采用长时间的高功率密度清洗会对物体表面产生“空化”腐蚀。
3、清洗介质：采用超声波清洗，一般有两种清洗剂:化学溶剂和水基清洗剂。清洗介质的化学作用，加上超声波清洗的物理作用，两种作用相结合，以对物体进行充分、彻底的清洗。
4、清洗温度：一般来说，超声波在30℃-40℃时空化效果好。清洗剂则温度越高越好，作用越显着。通常实际应用超声波清洗时，采用40℃-60℃的工作温度。
5、工件放置方式：若工件在清洗槽内上下、左右缓慢的摆动，则清洗越均匀、彻底，清洗效果越好。